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NE-PE05是一款小型實驗型等離子表面活化儀，廣泛應用于科研院校，企業(yè)研發(fā)單位和小批量生產(chǎn)。設備采用CCP電容耦合等離子體發(fā)生方式，整套系統(tǒng)包括真空倉、等離子發(fā)生器、真空泵以及進排氣口，處理室為圓筒形不銹鋼材料。可用來提高基片表面附著力或者改善表面親水性，在材料粘接、涂層、基片鍍膜或者鍵合等方面有廣泛應用。

主要用途/Applications：1、清洗：去除有機物、氧化物、金屬鹽、納米級微粒污染物等；2、活化：親疏水改性、表面能提升、官能團引入、生物相容性改善等；3、刻蝕：表面圖案化、表面微刻蝕、改變表面形貌粗糙度等；4、鍵合：PDMS等微流控器件鍵合；5、去膠：光刻膠灰化、掃底膜。