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等離子表面處理機(jī)利用等離子體中的電子、離子等高能粒子在基底表面產(chǎn)生氧化和刻蝕，增加基底表面的極性和粗糙度，其改性只是在材料表面幾到幾百納米的范圍，并不會(huì)使材料熱解或燒蝕。等離子體處理能夠使材料表面分子激發(fā)、電離或斷鍵，進(jìn)而增強(qiáng)基底與其他材料之間的化學(xué)鍵合和物理嵌合性。相比于其他方法，可更方便地在基底表層導(dǎo)入一定的官能團(tuán)或一些大分子鏈，同時(shí)改性的過(guò)程也可以通過(guò)工藝技術(shù)條件進(jìn)行限制。概念上說(shuō)，通過(guò)等離子體處理技術(shù)可以對(duì)任何形狀、任何特點(diǎn)的高分子材料進(jìn)行表面改性，并且只對(duì)材料的表層性質(zhì)進(jìn)行改性，而不會(huì)對(duì)其本身性質(zhì)產(chǎn)生影響。

等離子表面處理機(jī)功率大小調(diào)節(jié)影響什么

等離子表面處理機(jī)的一個(gè)重要參數(shù)是它的放電功率密度，當(dāng)功率密度不同時(shí)，對(duì)基底表面也會(huì)產(chǎn)生不同的影響。等離子表面處理機(jī)功率的大小直接決定了等離子狀態(tài)中各種能量大小，因而等離子處理功率的大小直接影響到了荷電離子轟擊試件表面的效果。

下圖1為等離子表面處理機(jī)功率與處理效果的大致關(guān)系。

隨著等離子表面處理功率增大到一定程度，表面改性效果達(dá)到最佳狀態(tài)。這是因?yàn)楫?dāng)?shù)入x子體處理功率逐漸增大時(shí)，入射離子的動(dòng)能也逐漸增大，離子和樣品表面相互碰撞的幾率增加，樣品表面自由基形成的數(shù)目增多，表面潤(rùn)濕性提高。此后等離子體處理功率再增加，荷能離子能量太高，當(dāng)其入射到樣品表面時(shí)，被固體表面反射的幾率增多，捕獲的幾率減少，使得樣品表面形成表面自由基的數(shù)目減少。同時(shí)，還會(huì)導(dǎo)致樣品表面受到一定程度上的損傷，所以改性效果反而下降。

從圖1可以看出等離子表面處理功率密度也存在一個(gè)合適的值可以極大的增加基底表明極性基團(tuán)的含量，提高其表面活性。

一般情況下隨著等離子表面處理機(jī)放電功率增大，活性粒子能量和等離子體的密度會(huì)增加，處理效果就會(huì)提高，而放電功率對(duì)等離子體的密度的影響較大，因此在處理時(shí)間相同的情況下等離子表面處理功率越小等離子體的密度和活性粒子能量越小。