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等離子（Plasma）是物質在固、液、氣之外的第四態，是一種物質存在的基本形態。等離子體 內部有多種粒子，包括由電離產生的正離子、電子和中性原子分子，因其整體呈電中性而被稱為等離子體。

等離子體清洗主要是基于等離子體放電產生的大量活性粒子，在一定條件下，這些活性粒子會與被清洗物體表面污染物發生反應，達到清洗的效果。氧氣（O₂）是等離子清洗中常用的活性氣體，氧氣的等離子清洗主要利用等離子體與清洗表面的化學反應對表面雜質進行去除。

氧氣等離子清洗有機物原理

等離子體中有多種成分參與對有機物的活化反應，這些成分是由電離產生的帶電微粒，包括高能量的自由基、電子、離子、光子等。等離子體中的粒子一直在運動，互相之間產生碰撞，包括彈性碰撞與非彈性碰撞。原子與電子的非彈性碰撞將會導致中性原子激發或電離，中性原子電位不平衡脫離基態，這種非基態的狀態是等離子體具有活性的原因。以氧原子為例，中性原子的激發是指原子在與電子的碰撞過程中，吸收了電子的部分能量，從基態躍遷為激發態，表示為：

e+O→O*+e

其中e為電子，O為處于基態的氧原子，*O為處于激發態的氧原子。

中性原子的電離是指原子在與電子的碰撞過程中，原子失去了一個電子而處于離子態，失去的電子成為自由電子，表示為：

e+O→O⁺+e+e^-

其中e為電子，O為基態原子，O⁺為電離產生的離子，e^-為新產生的自由電子。

隨著粒子間的繼續碰撞，還會產生逐級電離的過程，即發生先激發后電離兩次碰撞；長時間的碰撞中離子與電子的碰撞也會結合形成中性原子，這個過程符合能量守恒定律，額外的能量以光子的形式體現出來，表示為：

e+O⁺→O+hv

其中e為電子，O為基態原子，O⁺為處于電離態的離子，hv為光子。

等離子體中的粒子因攜帶大量能量而容易與有機物結合，新生成的產物也由于自身高能不穩定的性質而容易發生分解，最終將會分解成簡單的小分子產物，有機殘留物主要成分為碳氫化合物，在等離子作用下最終分解為二氧化碳與水，表示為：

C_nH_n+O₂→CO₂+H₂O

且這些小分子具有良好的揮發性，最終產物的快速擴散也推動了分解反應的進行；等離子和高能的中間產物在發生反應時也會釋放大量結合能，為分解反應提供動力。

綜上所述：氧氣（O2）等離子清洗原理是利用化學作用的清洗，是利用產生的氧離子與附著在工件上的有機污染物發生氧化反應，生成二氧化碳氣體（CO2）和水氣體（H2O）被設備的真空泵排出，達到清洗工件的目的。