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等離子處理機可以用于各種基材表面清洗、活化、提高親水性，解決印刷粘接不牢固等問題，不論是塑料、金屬、玻璃、陶瓷都能得到很好的處理。

等離子處理機工作原理

等離子處理機的工作原理是通過將注入氣體激發成等離子體，等離子體由電子、離子、自由基、光子以及其他中性粒子組成。由于等離子體中的電子、離子和自由基等活性粒子存在，其本身容易與固體表面發生反應，從而實現清潔，活化，改性等目的。

等離子處理機系統組成

等離子處理機主要由真空系統、電源系統、控制系統、骨架等組成,其結構示意圖見圖1.1。真空腔的腔體固定于機柜右上角,在其中進行試樣集中處理。真空腔下方為真空管路系統和進行高頻放電釋放等離子體的電源控制系統,下側還有真空泵抽氣系統,包括真空泵、放氣閥、電磁閥等。設備上半部分左側為電氣控制面板,包括控制按鈕、數顯真空計、觸摸屏操控界面等。

圖1.1 等離子處理機結構示意圖

通過對觸摸屏的點擊操作可控制等離子處理機系統的運作,包括真空泵啟/停、充放氣電磁閥開/關、等離子發生器開/關、電源功率選擇、氣體選擇、等離子處理時間設定等。整個控制系統分為自動和手動兩種控制方式,可根據實際工作需要選擇自動控制或手動調試控制。

等離子體產生原理

等離子體產生實質上是電離過程，當氣體分子受熱分裂成原子狀態的過程稱為離解。若進一步提高溫度，原子的外層電子會擺脫原子核的束縛成為自由電子。失去電子的原子變成帶電的離子，這個過程稱電離。發生電離(無論是部分電離還是完全電離)的氣體稱之為等離子體(或等離子態)。而當這些離子或電子在電場加速后，撞擊其他氣體分子，又會產生新的離子，即有足夠多的等離子體產生，完成處理過程。

傳統的腔體式等離子處理機采用射頻電容耦合方式產生等離子體(Capacitor Coupled Plasma，CCP)，并且采用平行內電極式放置電極板。

基本放電原理如圖2.1所示：匹配箱和電容串聯，射頻電源的高頻功率通過電容耦合方式把功率施加給平行板上，極板一般分為接電極板（Power）和接地極板（Ground），內部通過真空泵抽至低氣壓（5Pa～100Pa）。在低氣壓容性射頻放電中，電子從電場中獲得能量，具有一定能量的電子與中性氣體原子碰撞，使中性氣體原子失去最外層電子而產生電離。

圖2.2 電容耦合等離子體結構示意圖

低溫等離子體技術處理不僅流程簡捷、環保節能，而且加工對象廣、能夠顯著提高產品質量。由于低溫等離子體的這種獨特優越性，如今低溫等離子體技術在國防、醫療、微電子和環保等高新技術領域得到了重大發展并獲得了很高的經濟效益。