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由于微納米器件容易受到外部環境的損害,如濕氣、灰塵、機械振動等,需要對芯片后續進行封裝,以提供連接和散熱功能,并保護芯片免受外部因素的影響,其工藝流程如下:

圖1 封裝工藝流程

粘片是指將芯片牢固地連接到選定的封裝結構,使得電連接、散熱和機械支持等方面都能夠正常運作。

粘片完成后,需要利用金屬線將芯片上預留的焊盤與電路板連接,為芯片提供電信號的輸入和輸出,這一步被稱為引線鍵合或者壓焊。引線是影響器件可靠性穩定性的重要因素,合適的金屬線材應該具有穩定的化學性質、很好的導電性及導電性、結合力強的特點。常用的引線材料有金和鋁。

提高壓焊工藝穩定性的一個重要方法是使用等離子清洗,在進行清洗去污的同時,還能改變材料本身的表面性能,如提高表面的潤濕性能,改善不同材料間的附著力等,使結合面更加牢固。

等離子清洗

(1) 等離子清洗作用

等離子是正離子和電子密度大致相同的電離氣體,等離子清洗機通過對氬氣進行電離,產生的等離子體通過電磁場加速,擊打在鍍銀層及芯片鋁墊表面,可以有效的去除鍍銀層表面及鋁墊表面的有機物、環氧樹脂、氧化物、微顆粒物等沾污物,有效的提高鍍銀層表面及鋁墊表面的活性,從而有利于壓焊的鍵合。

(2) 等離子清洗方法

采用Ar和H2的混合氣體對引線框架表面進行等離子清洗,可以有效的去除表面的雜質沾污、氧化層等,從而提高銀原子和銅原子活性,大幅提高焊線與引線框架的結合強度,提高產品良率,在實際生產中,等離子清洗已成為銅線工藝的必須工序。

(3) 驗證等離子清洗對壓焊工藝的影響

如表1所示,我們在相同工藝條件下,一組在上芯固化后不進行等離子清洗,一組在上芯固化后采用Ar和H2的混合氣體進行等離子清洗。焊線結束后,兩組樣品進行推球值測量,并得到一組對比數據。

表1等離子清洗對推球值的影響

表1測量結果顯示,等離子清洗對提高焊點推球值影響力顯著,其數值相比未清洗組提高了10%左右。測試結論意味著,等離子清洗能有效提高鍵合質量,提高封裝良率。