日韩视频免费观看高清完整版在线Iwww久久久I国产在线色I国产一级三级I免费精品在线视频I久草免费在线观看视频

等離子體和固體、液體或氣體一樣，是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態。等離子清洗技術的工作原理主要是激活鍵能的交聯作用，是對材料表面轟擊的物理作用和形成新官能團的化學作用；其主要包含四大應用：表面清洗，表面激活，蝕刻和涂層。

等離子體清洗技術分類、特點

等離子體清洗技術根據反應類型不同可分為兩類：一是等離子體物理清洗，即借助活性粒子和高能射線轟擊而使污染物脫離；二是等離子體化學清洗，即通過活性粒子與雜質分子反應而使污染物揮發脫離。另外，對等離子體清洗類型具有一定影響的主要因素及其最大特點：

（1）激發頻率對等離子體的清洗類型具有一定影響。常用的等離子體激發頻率與特性如表1所示。

表1 等離子體激發頻率類型

常用的等離子體激發頻率有三種：激發頻率為40kHz的等離子體為超聲等離子體，13.56MHz的等離子體為射頻等離子體，2.45GHz的等離子體為微波等離子體。不同等離子體產生的自偏壓不一樣，超聲等離子體的自偏壓為1000V左右，射頻等離子體的自偏壓為250V左右，微波等離子體的自偏壓很低，只有幾十伏，而且三種等離子體的機制不同。

（2）工作氣體種類對等離子體清洗類型也具有一定影響。例如，惰性氣體氬氣（Ar2）、氮氣（N2）等被激發產生的等離子體主要用于物理清洗，借助轟擊作用使材料表面清潔；而反應性氣體氧氣（O2）、氫氣（H2）等被激發產生的等離子體則主要用于化學清洗，借助活潑自由基與污染物（多為碳氫化合物）發生化學反應，產生一氧化碳、二氧化碳、水等小分子，從材料表面移除。

（3）等離子體清洗類型對清洗效果具有一定的影響。等離子體物理清洗可使材料表面的粗糙度增加，有助于提高材料表面的附著力；等離子體化學清洗可以顯著增加材料表面的含氧、含氮以及其他類型的活性基團，有助于改善材料的表面浸潤性。

（4）等離子體清洗的最大特點是不分處理對象的基材類型均可進行處理，對金屬、半導體、氧化物、有機物和大多數高分子材料也能進行很好的處理，只需要很低的氣體流量，并可實現整體和局部以及復雜結構的清洗。在等離子體清洗技術中，不使用任何化學溶劑，因此基本上無污染物，有利于環境保護。此外，其生產成本較低，清洗具有良好的均勻性和重復性、可控性，易實現批量生產。