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等離子清洗機(Plasma Cleaner)可在真空環境下通過對氣體施加較高能量使其轉化為等離子狀態，組成等離子狀態的活性組分有離子、電子和活性基團等，這些活性組分對試件表面進行“轟擊”，起到表面清潔、改性等作用。

等離子清洗機的功率大小在等離子清洗過程中起到關鍵作用，清洗功率增大，氣體被離解出的粒子數量增加，參與反應的粒子數量增加，一定的清洗時間內達到提升清洗效率的作用；同時清洗功率增大后，粒子能量和活性得到了提升，加劇了粒子與物體表面污染物的化學反應及對物體表面的物理轟擊作用。所以在使用等離子清洗機的過程中，也需要嚴格控制等離子清洗機的工作時間和工作功率，避免清洗時造成產品表面過度蝕傷。一旦出現時間過長或者功率過大，都有可能會破壞材料表面，導致清洗效果變差。

等離子清洗機功率大小對清洗效果的影響試驗

選擇試驗樣品為封裝形式SOP008-12P裸銅引線框架，分別使用不同清洗功率進行等離子清洗后，測量出的水滴角變化如圖1所示，在逐步提高處理功率的過程中，水滴角隨著功率的提升而減小，當功率超過一定數值后，水滴角會隨著功率的提升而增大。可以看出隨著功率的增大，等離子清洗的效果逐漸變好，這是因為隨著功率的增大，等離子體的濃度和能量都增加，所以清洗效果也會相應地變好，但是隨著等離子清洗功率變大到超過一定數值時，由于處理粒子的能量過強，物體表面會由于等離子的熱作用和物理轟擊，造成表面差異性，破壞親水性，導致水滴角的增大。這樣的結論與試驗結果相一致，表明過強的等離子能量會導致物體表面浸潤性的下降。

圖一 等離子清洗機清洗功率與水滴角的關系

綜上所述：等離子清洗機的等離子體密度和能量與射頻功率成正比關系，所以在等離子清洗時可以適當增大清洗功率從而提高清洗的程度以及清洗的效率，但當功率過大，離子溫度和能量會上升，在高溫條件下金屬基片或其他易被氧化的物質會被氧化從而被破壞，另外不耐高溫零件例如塑料等也會損壞，同時過高的離子能量有可能刻蝕效應太強有可能會對材料表面造成損傷。因此在等離子清洗之前可以借助模擬合理選擇需要的功率，既要滿足經濟性要求又要保證清洗效果以及清洗的效率。