薄膜的附著機理

附著是指薄膜和基體表面相互作用將薄膜粘附在基體上的一種現象，是與薄膜在基體上存在的耐久性及耐磨性直接相關的重要概念。附著力的產生來源于膜與基片之間的相互作用，它的作用機理就是吸附，吸附可分為物理吸附和化學吸附兩種。

附著力的影響因素

膜層與基片之間的附著力，總體上受以下因素影響。基片的表面粗糙度和結構是否存在缺陷；基片表面是否清潔；基片表面的狀態能問題等。

如果基片不經過清潔處理，將在其表面上留有一個污染層，使基片表面的化學鍵達到飽和，故淀積上薄膜以后，膜的附著力很差。因此，在制造薄膜時，為了提高其附著性能，必須先對基片進行清潔和活化處理。

等離子清洗

一方面等離子清洗，可去除鍍膜基片表面殘留的一些細微污染物以及分子原子基團等，并使得鍍膜基材表面引入親水極性基團，從而使固體表面具有良好的液體流動性，增大膜層與基片的附著力。

另一方面在鍍膜前通過等離子轟擊工件，其轟擊能量可傳遞給基底的晶格原子，使晶格結構遭到破壞，增加工件表面的微觀粗糙度，使基底的表面原子徹底裸露，提高原子的極化率，縮小了薄膜原子與基底表面原子的間距，同時增加薄膜與表面的接觸面積，有利于提高機械鎖緊力，從而極大地改善薄膜與基底間的附著力。