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微波等離子清洗機具有激發頻率高、自偏壓小、離子動能小、離子濃度高、化學反應強等特點,可以有效避免靜電損傷、實現均勻的三維清洗,與傳統等離子清洗(中頻或射頻)相比,微波等離子清洗可以產生具有優良特性的等離子體,所以微波等離子清洗機在集成電路制程中,尤其是可靠性要求極高的軍用集成電路生產過程中發揮著舉足輕重的作用,市場前景十分廣闊。